XY精密对位平台
行程：100*100/120*120/120*160/180*140/300*250mm
单轴重复定位精度：±0.3μm
单轴行走直线度：≤5μm
所属分类：
精密定位平台
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- 商品名称: XY精密对位平台
行程：100*100/120*120/120*160/180*140/300*250mm<br> 单轴重复定位精度：±0.3μm<br> 单轴行走直线度：≤5μm<br>
关键词:- 对位平台
- 纠偏台
- uvw对位台
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