本体宽度:13/16/20/25mm 最大运作范围:Z轴:40mm R轴:±360° 最大推力:18.3N 重复定位精度:Z轴:±0.001mm R轴:±0.01° 产品优势:高精度 高静音 小型化 技术优势:可实现上下直线运动 旋转运动 中空吸附 应用行业:3C/半导体/医疗机械