XY精密对位平台
单轴重复定位精度:±0.3μm
单轴行走直线度:≤5μm
ZRCS-直线旋转电机
最大运作范围:Z轴:40mm R轴:±360°
最大推力:18.3N
重复定位精度:Z轴:±0.001mm R轴:±0.01°
产品优势:高精度 高静音 小型化
技术优势:可实现上下直线运动 旋转运动 中空吸附
应用行业:3C/半导体/医疗机械
行星滚柱丝杆
导程范围:1-30mm
导程精度:±0.006mm
最高速度:2000mm/s
产品优势:高精度/高负重/高速度/低噪音
应用行业:汽车制造/航空航天/石油化工/光学测量
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